微透鏡陣列

        無錫奧普頓光電子有限公司已研發(fā)和生產(chǎn)的全石英材料或全PC塑料微透鏡陣列，微透鏡邊長或直徑從1微米到1000微米，矢高從0.6微米到60微米，對應的微透鏡在可見光波長下焦距從亞微米到數(shù)千微米，微透鏡形狀包括圓形，正方形和正六邊形。根據(jù)客戶需要，我們可以定制上述參數(shù)范圍以外的微透鏡陣列。

       微透鏡陣列既可用于激光分束，也可以用于激光勻束。在介紹我們的微透鏡陣列產(chǎn)品之前，我們先比較平頂整形和勻束的四種方案，這四種方案分別是平頂光束整形[flat-top beam shaping,亦稱為top-hat beam shaping, 或super-Gaussian(超高斯) beam shaping]，無暗斑勻束元件，漫射擴散器（diffuser)勻束以及微透鏡陣列勻束。

        平頂光束整形的使用條件比較苛刻，要求激光的光束質(zhì)量好，衍射光學元件必須放在激光束特定的位置，激光束落在衍射光學元件的尺寸必須比較準確。如果這些條件都滿足，則使用效果良好。

        無暗斑勻束元件和漫射擴散器的使用條件則比平頂光束寬松得多。漫射擴散器允許很差的入射激光光束質(zhì)量，可以在任意位置使用，激光束落在漫射擴散器尺寸對使用效果的影響也很小，可以在很長距離內(nèi)得到勻束的效果。對于高功率的激光材料加工，我們推薦使用漫射擴散器勻束方案。無暗斑勻束元件和漫射擴散元件的區(qū)別在于前者的輸出光束中沒有明顯的暗斑(speckles)，而后者在輸出光束中存在暗斑(speckles)。

        微透鏡陣列用于勻束的的優(yōu)點是可用于寬廣的波長范圍，以及勻束后的輸出光束的中央沒有很亮零級。 

微折射透鏡和微衍射透鏡 

無錫奧普頓光電子制造的微透鏡陣列在焦平面的焦斑，我們可以看到焦斑非常清晰，雜斑很少

無錫奧普頓光電子制造的100x100微米微透鏡陣列。填充因子100%，焦距549微米

無錫奧普頓光電子制造的150x150微米微透鏡陣列。填充因子100%，焦距1500微米

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無錫奧普頓光電子制造的250微米微透鏡陣列的表面輪廓。其中的離散黑點為理想的球面輪廓。微透鏡表面輪廓的不對稱是由于表面輪廓儀探針測量誤差所引起（表面輪廓儀可以精確地測量高度差，但是在測量連續(xù)的微透鏡表面輪廓時會有一定誤差）。微透鏡輪廓頂點處的曲率半徑為547微米，二次曲線常數(shù)(conic constant)約為0.5。

無錫奧普頓光電子制造的14微米微透鏡陣列的原子力顯微鏡照片。微透鏡表面輪廓的不對稱是由于原子力顯微鏡探針測量誤差所引起（原子力顯微鏡可以精確地測量高度差，但是在測量連續(xù)的微透鏡表面輪廓時會有一定誤差）

產(chǎn)品編號	微透鏡類型	微透鏡尺寸 （微米）	微透鏡數(shù)目	單片尺寸 (毫米）	曲率半徑（微米）	有效焦距  (微米)	后焦距  (微米)	焦距一致性
MLA-R14	圓形	Φ14			7~15	12~36	- 400 ~  - 375	<+/-5%
MLA-S14	正方形	14x14			7~15	12~36	- 400 ~  - 375
MLA-S25	正方形	25x25	248x184	6.2x4.6	~17	~37	- 374
MLA-S80	正方形	80x80	625x625	50x50	~58	~120	- 290
MLA-S96	正方形	96x96	105x210	10x20	1440	~ 3000	~2500
MLA-S120	正方形	120x120	83x126	10x20	2250	~ 5000	~ 4200
MLA-R150	圓形	Φ150	32x32	4.8x4.8	200~690	450~1500	+ 40 ~ + 1090
MLA-R150-170 內(nèi)部編號：120 2016.11.1.新到	圓形	Φ150	148x148	22.2x22.2	170	170	- 240
MLA-R150-138 內(nèi)部編號：120 2016.11.1.新到	圓形	Φ150	148x148	22.2x22.2	138	138	- 270
MLA-S150	正方形	150x150	32x32	4.8x4.8	> 690	> 1500	~ +1090
MLA-R250	圓形	Φ250	24x24	6x6	> 547	> 1000	~ +590
MLA-R400-f10000	圓形	Φ400	17x17	14x14	4570	10,000	+ 9600
MLA-R400-f13500	圓形	Φ400	17x17	14x14	6091	13500	+13100
MLA-H50-43.3	正六邊形	50x43.3			28.33 （高15微米）	~62
MLA-R825-f13000	圓形	Φ825	17x17			13000	~+12600